气相沉积法制备聚酰亚胺薄膜的初步研究

表面技术 , 2011, 40(6): 53-57. doi: 10.3969/j.issn.1001-3660.2011.06.016

气相沉积法制备聚酰亚胺薄膜的初步研究

姚红 ^1, , 李赛 ^2, , 张占文 ^3, , 黄勇 ^4, , 汪国秀 ^5,

1.中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳621900;四川大学,成都610065

2.四川大学,成都610065

3.中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳621900

4.中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳621900

5.四川大学,成都610065

关键词：薄膜 , 聚酰亚胺 , 聚酰胺酸 , 气相沉积聚合

Preliminary Investigation on Vapor Deposition Polymerization (VDP) Method to Prepare Polyimide Film

采用一种新型的成膜技术——气相沉积聚合(V DP)法,利用热蒸发VDP沉积装置,以均苯四甲酸二酐和4,4-二氨基二苯醚为单体原料,通过控制加热温度、沉积速率和沉积时间,在玻璃衬底上沉积并合成聚酰胺酸(PAA)薄膜,再进行热亚胺化,就得到了成膜性能较好的PI薄膜.采用FTIR,TG,UV,AFM和接触角测试等分析手段对样品的性能进行了分析和探讨.结果表明:VDP法制备的PI薄膜具有高热稳定性、易透光性、低表面粗糙度和低表面能等优点,说明用该方法制备性能优异的PI薄膜是可行的.

参考文献

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