现代电子产品制造工艺中,使用高浓度三氯化铁蚀刻液,失效蚀刻液会造成环境污染和资源浪费.介绍了三氯化铁蚀刻废液的产生及特点,综述了三氯化铁蚀刻废液再生利用技术的研究进展,分析了不同再生方法的优缺点,并对三氯化铁蚀刻废液再生处理技术的发展趋势进行了展望和建议.
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