多弧离子镀(Ti,W)xN合金涂层组织与性能

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基金项目: 广东省高教厅科研项目广东工业大学校科研和教改项目

Microstructure and Properties of (Ti,W)xN Alloy Coatings Deposited by Multi-Arc Ion Plating

采用Ti/W复合靶用多弧离子镀技术沉积了(Ti,W)xN合金涂层,并对该涂层的组织与性能进行了研究.结果表明,涂层组织致密,孔隙率极低,主要结构为(Ti,W)2N,并具有较高的显微硬度和抗氧化性.在沉积过程中存在着多元合金涂层与复合靶的成分离析现象,这与靶材的结构有关.

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