扫描电镜电压衬度像方法在失效分析中的应用

材料工程, 2003, (z1): 328-329. doi: 10.3969/j.issn.1001-4381.2003.z1.104

扫描电镜电压衬度像方法在失效分析中的应用

王全 ^1, , 胡斌 ^2, , 孙静 ^3, , 胡会能 ^4,

1.航天材料及工艺研究所,北京,100076

2.航天材料及工艺研究所,北京,100076

3.航天材料及工艺研究所,北京,100076

4.航天材料及工艺研究所,北京,100076

关键词：电压衬度像 , 充电现象 , 开路

The Application of Voltage Contrast Image of the SEM in Failure Analysis

阐述了利用扫描电子显微镜获取电压衬度像的机理,并对样品充电现象进行了解释.通过引用两例失效分析案例,描述了利用样品的充电现象确定元器件内部开路位置的方法.

参考文献

上一张下一张

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

在本站搜索
王全胡斌孙静胡会能
在百度学术搜索
王全胡斌孙静胡会能
在万方数据库搜索
王全胡斌孙静胡会能
在CNKI搜索
王全胡斌孙静胡会能

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%