磁控溅射制备掺银TiO2薄膜的光催化特性研究

材料工程, 2005, (10): 35-46. doi: 10.3969/j.issn.1001-4381.2005.10.009

磁控溅射制备掺银TiO2薄膜的光催化特性研究

邱成军 ^1, , 曹茂盛 ^2, , 张辉军 ^3, , 刘红梅 ^4, , 田风军 ^5, , 刘鑫 ^6,

1.黑龙江大学,集成电路重点实验室,哈尔滨150080

2.北京理工大学,材料科学与工程学院,北京100081

3.黑龙江大学,集成电路重点实验室,哈尔滨150080

4.黑龙江大学,集成电路重点实验室,哈尔滨150080

5.黑龙江大学,集成电路重点实验室,哈尔滨150080

6.黑龙江大学,集成电路重点实验室,哈尔滨150080

基金项目: 黑龙江省教育厅科学技术研究项目(10531129)

关键词：薄膜 , 锐钛矿相 , 射频磁控溅射 , 光催化活性

Study on Photocatalytic Properties of Ag-doped TiO2 Thin Film by AC Magnetic Control Sputtering Method

利用交流磁控溅射设备采用金属Ti靶在石英和硅衬底制备掺银TiO2薄膜,并利用SEM,XRD及吸收光谱等方法分析测试TiO2薄膜的性质,探讨了掺银对TiO2薄膜吸收光谱的影响.并通过对甲基橙溶液浓度变化研究了掺银TiO2薄膜光催化特性,分析了掺银对TiO2薄膜增强光催化作用的工作机理,研究结果表明掺银有利于TiO2薄膜对有机物的降解作用.

参考文献

[1]	FUJISHIMA A;HONDA K .Electrochemical photolysis of water at a semiconductor electrode[J].Nature,1972,238(5358):37-38.
[2]	ICHIKAWA SHINICHI;DOI RYOTA .Hydrogen production from water and conversion of carbon dioxide to useful chemicals by room temperature photoelectrocatalysis[J].Catalysis Today,1996,27:271-277.
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[4]	KORMANN C;BAHNEMANN D W;HOFFMANN M R .Preparation and characterization of quantum size titanium dioxide[J].Physical Chemistry,1988,92:5196-5201.
[5]	席北斗,孔欣,刘纯新,邱熔处,周岳溪,刘鸿亮.加铂修饰型催化剂光催化氧化五氯酚[J].环境化学,2001(01):27-30.
[6]	GEORGE P;FOTOU;SOTIRISE et al.Photocatalytic destruction of phenol and salicylic acid with areosol made and commercial titania powders[J].Chemical Engineering Communications,1996,151:251-255.

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