低压气相金刚石薄膜镀膜刀具膜/基附着性能压痕测试分析

材料工程, 2006, (9): 57-63. doi: 10.3969/j.issn.1001-4381.2006.09.015

低压气相金刚石薄膜镀膜刀具膜/基附着性能压痕测试分析

龙剑平 ^1, , 汪灵 ^2, , 张湘辉 ^3, , 常嗣和 ^4,

1.成都理工大学,材料与化学化工学院,成都,610059;成都理工大学,金刚石薄膜实验室,成都,610059

2.成都理工大学,材料与化学化工学院,成都,610059;成都理工大学,金刚石薄膜实验室,成都,610059

3.成都理工大学,材料与化学化工学院,成都,610059;成都理工大学,金刚石薄膜实验室,成都,610059

4.成都理工大学,材料与化学化工学院,成都,610059

基金项目: 成都理工大学校科研和教改项目(2004QJ03) 四川省教育厅资助项目(2003A142) 四川省科技攻关项目(05GG021-001) 国家自然科学基金(40572030)

关键词：金刚石薄膜 , 硬质合金刀具 , 附着性能 , 压痕测试 , 等离子体CVD

Impression Test Study on Adhesion Between Substrate and Diamond Film Deposited by Low Pressure Vapor Deposition

低压气相金刚石薄膜硬质合金刀具在直流弧光放电等离子体CVD镀膜设备上制备.基底为YG6(WC-6%Co,质量分数)硬质合金刀具.采用洛氏(HRA)、表面洛氏(HRM)、维氏(HV)硬度试验机对所制备的金刚石薄膜刀具进行压痕测试;采用扫描电镜(SEM)观察压痕形貌并定性评价膜/基附着性能.结果表明:所制备的金刚石薄膜镀膜刀具的优选膜/基附着性能压痕测试方法是表面洛氏压痕法;优选测试条件为采用120°金刚石圆锥压头,测试加载载荷441N.

参考文献

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