介绍了力学探针的工作原理,并通过对不同应力状态下弹簧钢力学性能和TiN硬质薄膜力学性能的测量实例,展示了力学探针技术在材料选区力学性能评价上所具有的明显优势和广阔的应用前景.
参考文献
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[2] | Bolshakov A.;Pharr GM. .Influences of pileup on the measurement of mechanical properties by load and depth sensing indentation techniques[J].Journal of Materials Research,1998(4):1049-1058. |
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[4] | 田民波;刘德令.薄膜科学与技术手册[M].北京:机械工业出版社,1991:8-9. |
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