采用高性能Tb0.3Dy0.7Fe2单晶材料,通过优化微位移致动器的机械、磁路参数,研制出了具有非水冷结构的新型微位移致动器.致动器的最大线性工作区间为0.5~35.5μm,工作电压为2~24V,饱和驱动量可达39.5μm.
参考文献
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