本文通过比较AlN粉体研磨前后和AlN粉末热处理前后的性能差异,发现用甲醇作研磨介质快速研磨2h,AlN粉末的中位粒径为1.204μm,效果良好.研磨前AlN粉的含氧量为1.45%,研磨2h后的含氧量为1.8%,快速研磨后AlN粉末的氧化程度不高.随着热处理温度的提高,氧化程度逐步提高.在1000℃的温度下热处理3h后,除含有主晶相AlN外,还出现明显的α-Al2O3衍射峰.在600℃左右的温度下进行热处理3h,含氧量适中,有一定的抗水性.
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