针对薄膜材料厚度无损测试技术,提出一种三电极平行板电容传感器薄膜测厚方法.具体采用了三电极平行板电容器结构,该电容传感器含有三个相同的几何尺寸是毫米级的平板电极探头,电极之间的间距可变.依据电容原理和保角变换方法建立理论模型.通过Fortran语言编写算法,将得出的计算结果与传统方法进行比较.结果表明用此方法检测薄膜厚度变化,不仅继承了传统电容测厚技术具有的结构简单,操作快捷,便于控制,低功耗,低成本等优点,还大大提高了薄膜厚度检测的灵敏度.
参考文献
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