DyAl合金薄膜在NdFeB基体上真空热扩渗行为的研究

稀土, 2010, 31(4): 17-20. doi: 10.3969/j.issn.1004-0277.2010.04.004

DyAl合金薄膜在NdFeB基体上真空热扩渗行为的研究

孙宝玉 ^1, , 巴德纯 ^2, , 房也 ^3, , 杨彬 ^4, , 岳向吉 ^5, , 段永利 ^6,

1.东北大学机械工程与自动化学院,辽宁,沈阳,110004

2.东北大学机械工程与自动化学院,辽宁,沈阳,110004

3.东北大学机械工程与自动化学院,辽宁,沈阳,110004

4.沈阳中北通磁科技有限公司,辽宁,沈阳,110168

5.东北大学机械工程与自动化学院,辽宁,沈阳,110004

6.爱发科中北真空(沈阳)有限公司,辽宁,沈阳,110168

关键词：磁控溅射 , DyAl合金 , 薄膜 , 烧结NdFeB , 真空热扩渗

A Study of Vacuum Solid Diffusion for DyAl Alloy Thin Film on Sintered NdFeB Magnet

采用直流(Dc)磁控溅射的方法,在烧结NdFeB磁体表面制备了DyAl合金薄膜,镀膜样品经真空热扩渗(800℃x6h)和时效处理(900℃x2.5h+490℃x5h),研究了样品的微观结构组织与磁性,并对Dy、Al元素在基体中的真空热扩渗行为进行了探讨.结果表明,随着DyAl合金薄膜厚度的增加,磁体的内禀矫顽力Hcj相应提高,内禀矫顽力Hcj提高176kA/m(2.2kOe).通过对样品微观组织结构观察发现Dy和Al元素沿晶界富Nd相优先扩散,大量集中分布在主相晶粒表层和富Nd相交界处,不仅改善了晶界表面浸润性,也改变了主相晶粒表层合金成分和微结构,这种晶粒表面与晶界相的改性导致烧结NdFeB磁体的内禀矫顽力Hcj提高.

参考文献

[1]	Sagawa M;Hiresawa S;Yamamoto H et al.Nd-Fe-B Permanent Magnet Materials[J].Japanese Journd of Applied physics,1987,26(06):785-800.
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[6]	Menushenkov V P;Savchenko A G .Effects of postsintering annealing on magnetic properties of Nd2Fe14 B sintered magnets[J].Journal of Magnetism and Magnetic Materials,2003,258-259:558-560.

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