CVD金刚石薄膜晶粒尺寸对热导率的影响

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基金项目: 广东省自然科学基金(990548)

EFFFCT OF GRAIN SIZE OF CVD DIAMOND FILM ON THERMAL CONDUCTIVITY

用直流等离子喷射法,以甲烷、氢和氩气的混合气体为原料,在钼基体上合成了较高质量的CVD金刚石薄膜.对该薄膜的生长面及其背面的晶粒尺寸进行了研究,指出其-般规律,进一步探讨了CVD金刚石薄膜的晶粒尺寸对其热导率的影响规律.

[1]	Lander J;Morrison J .Low energy electron diffraction study of the (111) diamond surface[J].,1996,4:241.

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