BST薄膜高介电调谐率和低介电损耗的设计

1.军械工程学院,基础部,河北,石家庄,050003

2.军械工程学院,基础部,河北,石家庄,050003

3.军械工程学院,基础部,河北,石家庄,050003

基金项目: 军械工程学院科学研究基金资助项目

High dielectric tunability and low dielectric loss of BST thin films

钛酸锶钡(BST)薄膜显著的介电非线性效应归因于Ti4+偏离氧八面体中心的位移.从BST薄膜的相变行为出发,讨论影响介电性的3种因素,即组分、电极材料和薄膜厚度,以期保持BST薄膜高介电调谐率的同时,获得低介电损耗,为最大限度地提高BST微波移相器的性能提供可能.

[1]	朱小红,朱建国,郑东宁,李林.铁电钛酸锶钡薄膜的最新研究进展[J].无机材料学报,2003(05):989-997.
[2]	余慧春,徐爱兰,惠春.BST薄膜铁电移相器研究进展[J].电子元件与材料,2005(03):59-62.
[3]	钟维烈.铁电物理学[M].北京:科学出版社,1998:24.
[4]	Shirokov V B;Torgashev V I;Bakirov A .Concentration phase diagram of Ba,Sr1-xTiO3 solid solutions[J].Physical Review B:Condensed Matter,2006,73:104116.
[5]	Shirokov V B;Yuzyuk Yu I;Dkhil B et al.Phenomenological theory of phase transition in epitaxial BaxSr1-xTiO3 thin films[J].Physical Review B:Condensed Matter,2000,79:144118.
[6]	邢光建,杨志民,毛昌辉,杜军.应用于DRAMs的钛酸锶钡薄膜的研究进展[J].材料导报,2005(06):102-104,113.
[7]	夏奕东 .微波介电薄膜材料钛酸锶钡和钛酸钕钡的制备及电学性质研究[D].南京大学,2005.
[8]	彭东文 .钛酸锶钡非线性介质薄膜的高介电调谐率和低介电损耗的研究[D].上海大学,2005.

上一张下一张

计量

作者相关

文章评分