纳米ITO粉末爆炸压实及后续烧结工艺研究

材料科学与工艺, 2006, 14(2): 155-158. doi: 10.3969/j.issn.1005-0299.2006.02.013

纳米ITO粉末爆炸压实及后续烧结工艺研究

李晓杰 ^1, , 张越举 ^2, , 阎鸿浩 ^3, , 陈涛 ^4,

1.大连理工大学,工程力学系,工业装备结构分析国家重点实验室,辽宁,大连,116024

2.大连理工大学,工程力学系,工业装备结构分析国家重点实验室,辽宁,大连,116024

3.大连理工大学,工程力学系,工业装备结构分析国家重点实验室,辽宁,大连,116024

4.大连理工大学,工程力学系,工业装备结构分析国家重点实验室,辽宁,大连,116024

基金项目: 中国科学院资助项目(10572034) 辽宁省自然科学基金(2001101075)

关键词：爆炸压实 , 纳米ITO , 烧结工艺

Investigation of explosive consolidation nano-ITO powder and subsequent sintering techniques

为了探索生产ITO陶瓷靶材的新工艺方法,降低生产靶材的成本,提高靶材的性能,设计了纳米ITO陶瓷粉末经爆炸压实并附加烧结的工艺路线,提出了快速烧结,快速冷却的烧结工艺,对所得样品进行密度检测,并利用SEM对样品微观组织、形貌进行了分析.研究表明:使用高爆速炸药RDX和选择高温快速烧结方案能够获得密度高达98.71%理论密度,微观组织比较良好的陶瓷块体;纳米ITO粉末经爆炸压实后能够在高温突变条件下进行烧结处理;在快速冷却过程中,没有发现宏观裂纹的产生.

参考文献

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