封装、测试了硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器,在计算机模拟计算的基础上,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试,得出实物测试场发射电流曲线(开启电压低,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样,电压45V时发射电流可达到86mA,平均每个硅尖为21μA)、压力特性曲线(呈线性变化,与计算机模拟计算的曲线相近)及灵敏度数据.电压1.5V即可测试并且其压力特性成线性变化,灵敏度为0.3μA/kPa.
参考文献
| [1] | 苏杰,夏善红,陈绍凤.压力传感器阵列与温度传感器集成系统研究[A].第四届全国微米/纳米技术学术会议专刊[C].上海,2000,186-188. |
| [2] | 陶新昕,夏善红,陈绍凤.阴极-敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究[J].电子与信息学报,2001,23(1):81-86. |
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