ITO透明导电薄膜的制备及光电特性研究

液晶与显示 , 2004, 19(5): 376-379. doi: 10.3969/j.issn.1007-2780.2004.05.011

ITO透明导电薄膜的制备及光电特性研究

马颖 ^1, , 张方辉 ^2, , 靳宝安 ^3, , 牟强 ^4, , 袁桃利 ^5,

1.陕西科技大学,电气与电子工程学院,陕西,咸阳,712081

2.陕西科技大学,电气与电子工程学院,陕西,咸阳,712081

3.陕西科技大学,电气与电子工程学院,陕西,咸阳,712081

4.陕西科技大学,电气与电子工程学院,陕西,咸阳,712081

5.陕西科技大学,电气与电子工程学院,陕西,咸阳,712081

基金项目: 陕西省教育厅资助项目(03JK161)

关键词： ITO薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 方阻 , 透光率 , 液晶显示器

Tin-doped In2O3 Thin Films Prepared by Sol-gel Method

以氯化铟和氯化锡为前驱物,采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备了ITO薄膜.研究了掺锡浓度、热处理温度和热处理时间等工艺条件对ITO薄膜光电特性的影响.制备的ITO薄膜的方阻为300Ω/□,可见光平均透过率为80%,电阻率为4×10-3Ω·cm,其光电特性已达到了TN-LCD透明电极的要求.

参考文献

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