建立了绝缘电阻大于1013Ω和温度起伏小于0.1℃的半绝缘砷化镓Hall测量装置.研究了环境温度、湿度、漏电流、数据读取时间、测量电压、样品尺寸等因素对电阻率与迁移率的影响,并讨论了各种因素所引起的测量误差.
参考文献
| [1] | 中国科学院半导体研究所理化分析中心实验室.半导体的检测与分析[M].北京:科学出版社,1984:273. |
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