在p-Si(100)上溅射法生长ZnO的结构和光学特性

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基金项目: 国家自然科学基金(863-715-001-0162)

Structure and optical properties of ZnO film grown on p-type Si(100)substrate by sputtering

室温下在p-Si(100)上采用直流反应磁控溅射法外延生长了ZnO薄膜.XRD测量表明了ZnO是高度c轴单一取向生长的,XRC测量则表明了ZnO的高质量.在室温下的PL测量中见到了带边发射,其强度与晶体质量有关.

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