介绍了会聚束电子衍射(CBED)技术与计算机模拟相结合测定GexSi1-x/ Si化学梯度层中应变分布的实验结果,提供了一种高空间分辨率、高灵敏度,且适用于任何材料系中微区晶格常数测定及应变分布研究的技术途径.
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