振动式微机械陀螺的电学模拟

1.中国科学院上海冶金研究所传感技术国家实验室,上海 200050

2.中国科学院上海冶金研究所传感技术国家实验室,上海 200050

3.中国科学院上海冶金研究所传感技术国家实验室,上海 200050

4.中国科学院上海冶金研究所传感技术国家实验室,上海 200050

基金项目: 国家重点基础研究发展计划(973计划)(G1999033101)

Electrical analogue of the vibrating micromachined gyroscope

根据振动式微机械陀螺的动力学模型导出其等效的电学模型,并利用电路模拟工具对其进行了模拟.利用电路模拟结果,分析了陀螺的运动特性.利用这个电学模型,可以与接口电路混合模拟,优化检测电路的设计.

[1]	Veijola T .Accelerometer model in APLAC[R].Tech Rep CT-18,Helsinki University of Technology,Circuit Theory Laboratory,1994.
[2]	Veijola T;Kuisma H;Lahdenpera J et al.Equivalent circuit model of the squeezed gas film in a silicon accelerometer[J].Sensors and Actuators A:Physical,1995,48:239-248.
[3]	Min-hang Bao.Micro Mechanical Transducers-pressure sensors,accelerometers and gyroscopes[M].ELSEVIER publisher,2000
[4]	熊幸果 .微机械梳状电容式加速度传感器及梳状振动式陀螺研究[D].中国科学院上海冶金研究所,2000.

上一张下一张

计量

作者相关

文章评分