微电机中转子和衬底间的微磨擦参数的提取

1.中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室,上海,200050

2.中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室,上海,200050

3.中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室,上海,200050

基金项目: 国家自然科学基金(59775044)

Extraction of micro-friction-coefficient in micro-motor using artifitial neural network

为了分析微电机的动力学特性,提出了一种微磨擦参数提取的人工神经网络模型.通过该模型可以方便地得到指定加工工艺的微电机的微磨擦系数.仿真结果与实测数据比较表明,模拟结果与实测数据基本一致.

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