Fe3+对钛酸锶稀薄燃烧氧敏薄膜电阻的影响

功能材料与器件学报 , 2003, 9(3): 323-326. doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2003.03.018

Fe3+对钛酸锶稀薄燃烧氧敏薄膜电阻的影响

杨莉 ^1, , 杨德安 ^2, , 徐廷献 ^3, , 刘书亮 ^4,

1.山东建筑工程学院,科研处,济南,250014

2.天津大学材料科学与工程学院,天津,300072

3.天津大学材料科学与工程学院,天津,300072

4.天津大学机械学院,天津,300072

关键词：钛酸锶薄膜 , 铁掺杂 , 氧敏材料 , 电阻

Effect of Fe3+addition on resistance of SrTiO3 thin film as oxygen sensor

利用溶胶-凝胶的方法制备钛酸锶氧敏薄膜,掺杂不同含量的铁离子,并测试了不同氧分压、温度下薄膜的电阻.发现铁离子的含量在 20mol%～25mol%之间时,掺杂对钛酸锶电阻的降低有明显的影响,含铁在 20%和 25%的钛酸锶在 600～800℃之间电阻的变化趋近为零,铁的含量大于25%或小于 20%薄膜没有出现这种现象.

参考文献

[1]	HF马特瑞.半导体缺陷电子学[M].北京:科学出版社,1987:34-37.
[2]	郑嘹赢 .A/F氧传感器用Ti<,3>O<,5>薄膜新材料的制备科学和性能研究[D].天津大学,2001.
[3]	周晓华,Sфrensen O.Toft,曹全喜,徐毓龙.掺镁钛酸锶（SrTiO3）陶瓷的导电机理研究[J].无机材料学报,1999(06):927-932.

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