用于紫外光电导探测器的TiO2薄膜研究

功能材料与器件学报 , 2005, 11(2): 238-240. doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2005.02.024

用于紫外光电导探测器的TiO2薄膜研究

张利伟 ^1, , 杨仕娥 ^2, , 姚宁 ^3, , 鲁占灵 ^4, , 樊志琴 ^5, , 张兵临 ^6,

1.材料物理重点实验室,郑州大学,郑州,450052

2.材料物理重点实验室,郑州大学,郑州,450052

3.材料物理重点实验室,郑州大学,郑州,450052

4.材料物理重点实验室,郑州大学,郑州,450052

5.材料物理重点实验室,郑州大学,郑州,450052

6.材料物理重点实验室,郑州大学,郑州,450052

关键词：直流反应磁控溅射 , TiO2薄膜 , 光导型紫外探测器 , 光响应

Study on TiO2 thin films for UV photodetector

采用直流反应磁控溅射的方法,制备了TiO2薄膜.用X射线衍射,原子力显微镜(AFM)和紫外-可见光分光光度计分别测试了TiO2薄膜的晶体结构、表面形貌及其紫外-可见光吸收谱,采用C/TiO2/ITO三层结构制备了TiO2光电导型紫外探测器,研究了它的光响应.初步实验结果表明:TiO2薄膜在4W的紫光灯辐射下,光电流可达2.1mA,10min的辐射时间内,光电流基本保持稳定,可见TiO2薄膜对紫外光有较高的灵敏度和稳定性,可作为一种良好的紫外光探测材料.

参考文献

[1]	Martin N.;Rondot D.;Palmino F.;Mercier R.;Rousselot C. .MICROSTRUCTURE MODIFICATION OF AMORPHOUS TITANIUM OXIDE THIN FILMS DURING ANNEALING TREATMENT[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,1997(1/2):113-121.
[2]	Shang - Di Mo;Ching W Y .Electronic and optical properties of three phase of titanium diopxide: Rutile, anatase, and brookite[J].Physical Review B,1995,51:13023-13031.
[3]	Ferguson I;Tran CA;Karlicek RF;Feng ZC;Stall R;Liang S;Lu Y;Joseph C;Rutgers State Univ Dept Phys Piscataway NJ 08855 USA. .GaN and AlGaN metal-semiconductor-metal photodetectors[J].Materials Science & Engineering, B. Solid-State Materials for Advanced Technology,1997(1/3):311-314.
[4]	Zheng S K;Xiang G;Wang T M et al.Photocatalytic activity studies of TiO2 thin films prepared by r. f magnetron sputtering[J].Vacuum,2004,72:79-84.
[5]	Jenny Nelson;Anuradha M. Eppler;Ian M. Ballard .Photoconductivity and charge trapping in porous nanocrystalline titanium dioxide[J].Journal of Photochemistry and Photobiology, A. Chemistry,2002(1/3):25-31.

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Study on TiO2 thin films for UV photodetector

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