CdZnTe晶体生长用石英管的镀碳工艺研究

功能材料与器件学报 , 2005, 11(2): 255-258. doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2005.02.028

CdZnTe晶体生长用石英管的镀碳工艺研究

闵嘉华 ^1, , 桑文斌 ^2, , 钱永彪 ^3, , 李万万 ^4, , 刘洪涛 ^5, , 樊建荣 ^6,

1.上海大学,材料学院电子信息材料系,上海,200072

2.上海大学,材料学院电子信息材料系,上海,200072

3.上海大学,材料学院电子信息材料系,上海,200072

4.上海大学,材料学院电子信息材料系,上海,200072

5.上海大学,材料学院电子信息材料系,上海,200072

6.上海大学,材料学院电子信息材料系,上海,200072

基金项目: 上海市教委资助项目(02AK30) 国家自然科学基金(10175050)

关键词：镀碳 , 推力分析 , CdZnTe晶体

Investigation of the carbon coating on quartz ampoules for CdZnTe crystal growth

使用金相显微镜、推力分析仪测试等手段研究了镀碳工艺参数对碳膜的表面形貌、碳膜和石英结合力的影响.获得了一个优化的镀碳工艺参数,即在镀碳温度为950～1100℃,气体流量为4～7ml/h,镀碳时间为6h,冷却时间为12h的条件下得到的碳膜较为均匀,而且和石英结合的较好.使用该工艺条件镀膜的石英管生长出的CdZnTe晶体表面光洁,位错密度低,约为4×104cm-2.

参考文献

[1]	Rosch W;Carlson F .Computed stress fields in GaAs during vertical Bridgman growth[J].Journal of Crystal Growth,1991,109:75-81.
[2]	Butler J F;Doty F P;Apotovsky B et al.Gamma and X - ray detectors manufactured from Cd1 -xZnxTe grown by a high pressure Bridgman method[J].Materials Science and Engineering B,1993,16:291-295.
[3]	Pfeiffer M;Muhlberg M .Interface shape observation and calculation in crystal growth of CdTe by the vertical Bridgman method[J].Journal of Crystal Growth,1992,118:269-276.
[4]	BRUNET P;Katty A;Schneider D et al.Horizontal Bridgman growth of large high quality Cd1- yZnyTe crystals[J].Materials Science and Engineering B,1993,16:44-47.

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Investigation of the carbon coating on quartz ampoules for CdZnTe crystal growth

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