微机械面型微加热器的热学分析

功能材料与器件学报 , 2005, 11(4): 466-475. doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2005.04.015

微机械面型微加热器的热学分析

吴雷 ^1, , 李铁 ^2, , 王立春 ^3, , 王翊 ^4, , 王跃林 ^5,

1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200050

2.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200050

3.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200050

4.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200050

5.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200050

关键词：微电子机械系统 , 面型微加热器 , 热分析

Thermal analysis of MEMS micro-hotplate with uniform temperature in large area

针对微机械面型微加热器,采用解析方法对加热器在真空和大气下的温度分布,以及均热器对加热器温度分布的影响进行了深入分析.分析结果表明,真空下环形加热电阻可以达到较好的大面积均温效果,而大气下的加热电阻应尽可能小同时尽可能分布在整个加热区内,分析的结果经ANSYS有限元模拟和样品制作测试,与实际情况吻合较好.

参考文献

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