用于微机电系统的磁流体微泵的研究

1.浙江科技学院机械工程系,杭州,310012

2.浙江科技学院机械工程系,杭州,310012

基金项目: 浙江省科技厅资助项目(05C21102) 国家高技术研究发展计划(863计划)(20299030)

Study on the magnetic fluid micro- pump used in the MEMS

利用外磁场及其运动控制微机电系统中的磁流体的运动,成功地设计了磁流体微泵,试验表明:磁流体微泵的输出压力最高达到1180 Pa,输出流量最大可达50μl/min,磁场转速和输出压力、输出流量的在低转速时几乎线性关系,但超过一定的转速,输出流量和压力将迅速下降.为微机电系统提供可靠的驱动元件.

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