掺杂Al2O3纳米粉对ZnO厚膜气敏传感器性能的影响

功能材料与器件学报 , 2006, 12(4): 329-332. doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2006.04.016

掺杂Al2O3纳米粉对ZnO厚膜气敏传感器性能的影响

伦宁 ^1, , 徐红燕 ^2, , 李梅 ^3, , 孙海燕 ^4, , 崔得良 ^5,

1.山东大学材料科学与工程学院,济南,250100

2.山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

3.山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

4.山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

5.山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

基金项目: 教育部科学技术基金(305010) 国家自然科学基金(90206042;50272036) 教育部科学技术研究项目(104110) 山东省青年科学家科研奖励基金(00BS04001)

关键词： ZnO厚膜气敏传感器 , Al2O3掺杂 , 本征电阻 , 灵敏度

Effect of Al2O3 doping on the sensing performance of ZnO thick film gas sensors

以ZnO纳米粉(平均粒径30 nm)和Al2O3纳米粉(平均粒径5 nm)为原料,利用传统的厚膜气敏传感器制备工艺制备了纯ZnO厚膜气敏传感器和掺杂Al2O3(掺杂量为2wt%和5wt%)的ZnO厚膜气敏传感器.对这三种厚膜传感器的本征电阻及对乙醇蒸汽的敏感特性进行了测试.结果表明:掺杂少量Al2O3纳米粉可明显降低ZnO气敏传感器的本征电阻,改善传感器的烧结性能,同时还可降低其最佳工作温度,提高器件对乙醇的灵敏度.结合厚膜气敏传感器的显微结构分析结果,对出现上述差异的原因进行了讨论.

参考文献

[1]	Seiyama T;Kato A .A new detector for gaseous components using semiconductor thin film[J].Analytical Chemistry,1962,34:1502-1503.
[2]	李健,李海兰,田野,宋淑芳.掺杂和热处理对纳米ZnO薄膜气敏特性影响[J].传感器技术,2002(03):61-64.
[3]	王林,张覃轶,祝柏林,王爱华,谢长生.激光烧结纳米ZnO气敏传感器制备及其气敏特性研究[J].传感技术学报,2003(04):491-494.
[4]	张耀华;李民强 .热处理对SnO2胶体薄膜结构和气敏性能的影响[J].功能材料与器件学报,1997,3:203-207.
[5]	Kwon TH.;Ryu JY.;Choi HH.;Park SH. .Zinc oxide thin film doped with Al2O3, TiO2 and V2O5 as sensitive sensor for trimethylamine gas[J].Sensors and Actuators, B. Chemical,1998(2):75-79.
[6]	Dayan N J;Sainkar S R;Karekar R N et al.Formulation and characerization of ZnO:Sb thick-film gas sensors[J].Thin Solid Films,1998,325:254-258.
[7]	Xu H Y;Liu X L;Cui D L.A novel method for improVINg the performance of ZnO gas sensors (In press)[J].Sensors and Actuators B-Chemical,2005

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网

掺杂Al2O3纳米粉对ZnO厚膜气敏传感器性能的影响

Effect of Al2O3 doping on the sensing performance of ZnO thick film gas sensors

参考文献