低红外发射率TiO2/AgxCU1-x/Ti/TiO2纳米多层膜

功能材料与器件学报 , 2007, 13(1): 7-12. doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2007.01.002

低红外发射率TiO2/AgxCU1-x/Ti/TiO2纳米多层膜

刘海鹰 ^1, , 刁训刚 ^2, , 王丽玲 ^3, , 杨盟 ^4, , 武哲 ^5, , 舒远杰 ^6,

1.北京航空航天大学理学院凝聚态物理与材料物理中心,北京,100083

2.北京航空航天大学理学院凝聚态物理与材料物理中心,北京,100083

3.北京航空航天大学理学院凝聚态物理与材料物理中心,北京,100083

4.北京航空航天大学理学院凝聚态物理与材料物理中心,北京,100083

5.北京航空航天大学航空科学与技术学院,北京,100083

6.中国工程物理研究院化工材料研究所,绵阳,621900

基金项目: 国家自然科学基金(90305026) 中国工程物理研究院"双百"人才基金(2005R0504)

关键词： TiO2/AgxCu1-x/Ti/TiO2纳米多层膜 , 低红外发射率 , 磁控溅射

Low- emissivity TiO2/AgxCu1 -x/Ti/TiO2 nano -multilayer films

利用磁控溅射制备了银含量在100%至80%之间的单层银铜合金薄膜和TiO2/AgxCu1-x/Ti/TiO2纳米四层膜.利用X射线衍射、扫描电子显微镜、扫描俄歇微探针,分光光度计、红外发射率测量仪对样品进行表征,研究了单层金属膜和多层膜的光学、电学性质随着银含量的变化以及热处理前后薄膜性能的变化.结果表明:相同厚度的合金膜,随着Ag含量的降低,导电性能下降,Ag含量低于80%的合金已不适合作为多层膜的金属层;150 ℃大气下热处理30 min,纯银薄膜性质发生明显变化,明视透过率下降10%,方块电阻由2.5 W/□增加至18 W/□,红外发射率由0.17增加到0.69.AgCu合金薄膜性质未发生明显变化.方块电阻相近的TiO2/AgxCu1-x/Ti/TiO2纳米多层膜,经250 ℃大气下热处理40 min后,TiO2/Ag/Ti/TiO2和TiO2/Ag80Cu20/Ti/TiO2纳米多层膜的性质变化较小,热稳定性较好,其余的多层膜性质发生较大变化,红外发射率显著增加.

参考文献

[1]	Xuanjie Liu;Xun Cai;Jinshuo Qiao;Jifang Mao;Ning Jiang .The design of ZnS/Ag/ZnS transparent conductive multilayer films[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,2003(1/2):200-206.
[2]	Leftheriotis G.;Yianoulis P. .Characterization and stability of low-emittance multiple coatings for glazing applications[J].Solar Energy Materials and Solar Cells: An International Journal Devoted to Photovoltaic, Photothermal, and Photochemical Solar Energy Conversion,1999(2):185-197.
[3]	李景明,蔡珣,茅及放.TiO2/Ag/TiO2纳米多层膜的研究[J].机械工程材料,2004(02):34-37.
[4]	周志坚 .节能膜的应用、制备和性能[J].材料科学与工程,1994,12(08):11-17.
[5]	Schaefer C;Brauer G;Szczyrbowski J .Low emmissivity coatings on architectural glass[J].Surface and Coatings Technology,1997,93(01):37-45.
[6]	E. Ando;M. Miyazaki .Moisture resistance of the low-emissivity coatings with a layer structure of Al-doped ZnO/Ag/Al-doped ZnO[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,2001(2):289-293.
[7]	James J;Finley.Low-E Solar reflective coatings[J].Glass-Technology International,1998(02)
[8]	Yuko Tachibana;Hisashi Ohsaki;Atsushi Hayashi .TiO_(2-x) sputter for high rate deposition of TiO_(2)[J].Vacuum: Technology Applications & Ion Physics: The International Journal & Abstracting Service for Vacuum Science & Technology,2000(2/3):836-843.
[9]	王明利.反应溅射TiO2薄膜[J].中国激光,1996(11):991.
[10]	詹倩,于荣,贺连龙,李斗星,郭晓楠.低辐射薄膜TiO2-Ag-TiO2-siO的纳米尺度显微结构[J].金属学报,2001(04):337-339.
[11]	E. Ando;M. Miyazaki .Moisture degradation mechanism of silver-based low-emissivity coatings[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,1999(1/2):308-312.
[12]	汤顺青.色度学[M].北京:北京理工大学出版社,1990:21.

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网