一种制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺

1.辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,大连,116023;大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室

2.辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,大连,116023;大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室

3.辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,大连,116023;大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室

基金项目: 国家自然科学基金(50475153) 教育部跨世纪优秀人才培养计划(NCET-04-0266)

A new process for the fabrication of the electrode of nuclear microbattery with channels

开发了一种利用SU8胶剥离工艺制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺,通过使用BP212正胶作为牺牲层,有效地解决了在制作沟槽型同位素微电池表面电极时,堆胶以及沟槽中SU8胶不易去除的难题.该工艺操作简单、可靠,成本低,因此具有很大的实用价值.

[1]	朴相镐,褚金奎,吴红超,杜小振.微能源的研究现状及发展趋势[J].中国机械工程,2005(z1):1-4.
[2]	HangGno,AmitLal.NanopowerBetavoltaie icrobatteries[A].Boston,Massachusetts,2003:36-39.
[3]	James Blanchard;Douglass Henderson;AmitLal .A Nucle-ar Microbattery for MEMS Devices[Technical Report,DE2002-799209][R].
[4]	褚金奎,朴相镐,吴红超.基于β辐射伏特效应的同位素微电池理论模型研究[J].核动力工程,2006(06):113-118.
[5]	陈宏铭 .同位素微电池之研究[D].台湾:国立清华大学,2003.

上一张下一张

计量

作者相关

文章评分