本文针对引信发火控制电路中微执行器输出力矩弱的特点,利用微沟道和凝胶纤维把化学能转化成机械能形变技术,设计了一种新型MEMS微执行器.这种微执行器是通过静电力克服机械弹性力使极板产生相对运动,控制发火控制电路的导通;利用凝胶纤维的收缩力解除引信发火控制电路保险从而达到开启和关闭的目的.文中对所设计的结构进行ANSYS仿真,验证它的可行性并优化了结构参数.这种新型微执行器最大的特点是功耗小,输出功率大,具有很高的机械效率.
参考文献
| [1] | 郭方敏,赖宗声,朱自强,贾铭,初建朋,范忠,朱荣锦,戈肖鸿,杨根庆,陆卫.悬臂式RF MEMS开关的设计与研制[J].半导体学报,2003(11):1190-1195. |
| [2] | 孙建海,崔大付,王海宁,王利,徐磊,苏波.悬臂梁接触式RF-MEMS开关的制作研究[J].微细加工技术,2005(01):71-74. |
| [3] | 于映,罗仲梓,翁心桥.接触式串联射频MEMS开关的工艺研究[J].真空科学与技术学报,2004(04):306-308. |
| [4] | 沈先元 .UHMNW-PAN基多孔中空凝胶纤维的制作及结构性能分析[D].上海:东华大学,2001. |
| [5] | Gregory T A Kovacs.Micromachined Transducers Source-book[M].,2003:234-235. |
| [6] | 王利.电引信设计及其应用[M].北京:国防工业出版社,2006:18-23. |
| [7] | 《中国人民解放军总装备部军事训练教材》编辑工作委员会.引信试验鉴定技术[M].北京:国防工业出版社,2006:75-77. |
| [8] | 王复兴;孙华东.材料力学[M].北京:兵器工业出版社,2001:136. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%