利用差分共焦显微术测定压电陶瓷的逆压电伸缩效应

量子电子学报 , 2001, 18(z1): 84-88. doi: 10.3969/j.issn.1007-5461.2001.z1.019

利用差分共焦显微术测定压电陶瓷的逆压电伸缩效应

刘力 ^1, , 杨莉松 ^2, , 王桂英 ^3, , 徐至展 ^4,

1.中国科学院上海光学精密机械研究所,

2.中国科学院上海光学精密机械研究所,

3.中国科学院上海光学精密机械研究所,

4.中国科学院上海光学精密机械研究所,

关键词：差分共焦显微镜 , 轴向响应曲线 , 压电陶瓷

Measurement of Converse Piezoelectric Expend and Contract of PZT with the Axial Response Curve of Fiber-Optical Confocal Scanning Imaging Microscopy

在光纤共焦扫描显微镜(FOCSM)的基础上,利用其轴向响应曲线的线性部分,给出了一种测定物体微位移的新方法.并用该方法精确测量了压电陶瓷微小的逆压电伸缩效应,分辨率可以达到纳米量级.

参考文献

[1]	Lee Ch H. Wang J. Noninterferometric differential confocal microscopy with 2 nm depth resolution [J]. Opt. Comm.,1997, 135:233～237
[2]	Lee Ch H, Wang J. Optical measurement of the viscoelastic and biochemical responses of living cells to mechanical perturbation [J]. Opt. Lett., 1998, 23:307～309
[3]	杨莉松等.光纤共焦扫描显微术用于光盘盘基预刻槽结构的检测[J].光学学报,2000,20(3):384
[4]	Wilson T, Sheppard C J R. Theory and Practice of Scanning Optical Microscopy [M]. (London: Academic, 1984.)
[5]	Dabbs T, Glass M. Fiber optic confocal microscope: FOCON [J]. Appl. Opt., 1982, 31:3030～3035
[6]	Gu Min. Principle of Optics Three-Dimensional Imaging in Confocal Microscopy [M]. Londnn: Academic Press,1996.
[7]	杨莉松,王桂英,徐至展.反射式光纤共焦扫描成像的研究[J].光学学报,1999,19(7):962～967

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