准分子激光器温度控制系统设计

连铸, 2015, 32(4): 431-437. doi: 10.3969/j.issn.1007-5461.2015.04.008

准分子激光器温度控制系统设计

胡明庆 ^1, , 韩晓泉 ^2, , 周翊 ^3, , 冯泽斌 ^4, , 周维虎 ^5, , 白路军 ^6,

1.合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥 230009;中国科学院光电研究院,北京 100094

2.中国科学院光电研究院,北京,100094

3.中国科学院光电研究院,北京,100094

4.中国科学院光电研究院,北京,100094

5.合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥 230009;中国科学院光电研究院,北京 100094

6.中国科学院光电研究院,北京,100094

基金项目: 国家科技重大专项(2013ZX02202)

关键词：激光技术 , 温度控制 , 智能PID , 准分子激光器 , 算法

Design of temperature control system of excimer laser

Keywords： laser techniques , temperature control , intelligent PID , excimer laser , algorithm

设计了一种应用于准分子激光器的高精度温度控制系统,可对准分子激光器放电腔的温度进行实时采集、显示、控制,达到维持激光器腔体温度恒定的目的,从而改善激光器的工作性能如能量稳定性和使用寿命等.系统采用飞思卡尔单片机,以比例阀作为控温执行器件,并且设计了软硬件和优化的控制算法.实验结果表明:在三种不同PID控制方式下,系统控制精度皆能达到±0.2℃;在改进的智能PID控制下,系统超调变小、调节时间减少;在100 Hz和500 Hz不同重频条件下,系统采用智能PID控制时,运行稳定.因此,本系统可为激光器的运行提供良好的温度控制环境.

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