通过优化工作气体分压提高准分子激光器脉冲能量输出

量子电子学报 , 2016, 33(3): 296-300. doi: 10.3969/j.issn.1007-5461.2016.03.006

通过优化工作气体分压提高准分子激光器脉冲能量输出

邱红松 ^1, , 游利兵 ^2, , 王庆胜 ^3, , 尹广玥 ^4, , 方晓东 ^5,

1.中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室,安徽合肥,230031

2.中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室,安徽合肥,230031

3.中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室,安徽合肥,230031

4.中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室,安徽合肥,230031

5.中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室,安徽合肥,230031

基金项目: Supported by National Natural Science Foundation of China(国家自然科学基金,61205138)

关键词：激光技术 , KrF准分子激光器 , 气体分压优化 , 气体混合物 , 缓冲气体

Optimizing performance of KrF excimer laser by modifying active medium gas partial pressures

Keywords： laser techniques , KrF excimer laser , optimization of gas partial pressures , gas mixture , buffer gas

分别研究了Ne、F2和Kr对KrF准分子激光器脉冲能量输出的影响.理论分析了Ne作为缓冲气体在激光器放电过程中的碰撞过程,并对Ne与其他种类缓冲气体进行了对比分析.F2分压对脉冲能量输出的影响非常明显.工作气体中Kr参与的三体碰撞过程占主导地位,激光脉冲能量输出与Kr分压呈二次函数关系.当充电电压为28.7 kV,在最优化工作气体分压(F2∶He∶Kr∶Ne=0.315∶5.985∶19.5∶305 kpa)下获得的最大单脉冲输出能量为807 mJ,全电效率为1.64％.

参考文献

[1]	余吟山;游利兵;梁勖;方晓东.准分子激光技术发展[J].中国激光,2010(9):2253-2270.
[2]	高健;方晓东;梁勖;马跃;吴本科.用于308 nm 准分子激光治疗仪的液芯光纤传输特性研究[J].量子电子学报,2014(1):94-98.
[3]	游利兵;周翊;梁勖;余吟山;方晓东;王宇.近期光刻用ArF准分子激光技术发展[J].量子电子学报,2010(5):522-527.
[4]	赵家敏;游利兵;余吟山;方晓东.大能量高功率准分子激光的应用及关键技术[J].量子电子学报,2013(6):696-702.
[5]	付加友;董伟伟;邵景珍;陶汝华;王效顺;余吟山;方晓东.准分子激光在液芯光纤中传输特性的实验研究[J].量子电子学报,2011(2):163-167.
[6]	赵家敏;游利兵;余吟山;方晓东.0.73 J脉冲能量KrF准分子激光器的特性[J].强激光与粒子束,2013(11):3060-3064.

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