研究了微孔SiO2膜的气体渗透性能.气体渗透数据表明,由于微孔SiO2膜存在着一定的孔径分布,其渗透机理比较复杂.当膜的孔径大于并接近分子的动力学直径时,其渗透由择形扩散控制;而当膜的孔径大于而不接近分子的动力学直径时,对于非凝聚的小分子气体其渗透受努森扩散控制;对于可凝性气体其渗透将受多层扩散和毛细管凝聚的控制.单组份正/异丁烷气体在25℃、压差为0.06 MPa时的理想分离系数为1.8;1:1的正/异丁烷混合气的分离系数为8.4.
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