离子注入工艺是一种新兴的束流表面强化技术,离子注入陶瓷材料可改变陶瓷材料的表面硬度、表面断裂韧度、抗弯强度等机械性能.本文在不同工艺条件下,观察Al-2O-3陶瓷表面注入镍离子后机械性能的变化,发现最佳注入离子剂量5×1016ioncm-2时机械性能有很大改善.结合应力分析,发现陶瓷表面压应力对机械性能的改善有很大贡献.
参考文献
| [1] | C j McHargue et al.[J].Journal of The Minerals,Metals & Materials Society,1991,6:40-44. |
| [2] | P J Burnett .Surface softening in silicon by ion implantation[J].Journal of Mat CI,1984,19:845-860. |
| [3] | B R Lawn;Evans A G .[J].Journal of the American Ceramic Society,1984,63(9-14):735-784. |
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