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本文研究了以介电常数ε呈梯度变化时铅镁铌铁电陶瓷(ε-FGPMN)致动器的电致失效力学机理,通过梯度参数的优化设计,有效地降低了材料开裂的能量释放率,使得多层共烧铁电致动器的临界层厚度有明显的减小,满足微电子元件微型化发展需要.

参考文献

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