采用喷镀法制备SnO2膜导电玻璃,研究了膜厚、基底温度对薄膜电阻和透光率的影响.用SEM、XPS和XRD分析了SnO2膜的形貌与导电性能,并研究了其透光性、反射性及热稳定性.结果表明:SnO2膜是多晶结构氧空位导电的N型半导体,在可见光范围内透光率达88%以上并具有较好的热稳定性.
参考文献
| [1] | J L Vossen.Transparent conducting films[J].Physics of thin film,1977(09):1-64. |
| [2] | Pan CA;Ma TP .High-quality transparent conductive indium oxide films prepared by thermal evaporation[J].Applied Physics Letters,1980,37:163-165. |
| [3] | 孟扬,杨锡良,陈华仙.新型透明导电薄膜In2O3∶Mo[J].真空科学与技术学报,2000(05):331. |
| [4] | 全宝富,金丽妍,全海英.低阻SnO2微粉的制备及其气敏特性[J].功能材料,2000(03):273. |
| [5] | K SEEGER.半导体物理[M].北京:人民教育出版社,1980 |
| [6] | Sivaramasubramaniam R;Muhamad MR;Radhakrishna S .Optical properties of annealed tin (Ⅱ) oxide in deferent ambient[J].Physica Status Solidi A,1993,136:215-222. |
| [7] | Coutts TJ;Young DL;Li XN .Charaterization of transparent conducting oxides[J].MRS Bulletin,2000,25(08):58-65. |
| [8] | Wang De-miao et al.Effect of annealing on characteristics of ITO film[Z].SPIE Display and System,1996. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%