低温PVD法制备多组分超硬薄膜相组成研究

材料科学与工程学报, 2003, 21(5): 759-762. doi: 10.3969/j.issn.1673-2812.2003.05.034

低温PVD法制备多组分超硬薄膜相组成研究

彭志坚 ^1, , 苗赫濯 ^2, , 刘亮 ^3, , 齐龙浩 ^4, , 司文捷 ^5, , 李文治 ^6,

1.清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084

2.清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084

3.清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084

4.清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084

5.清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084

6.清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084

关键词：多组分薄膜 , 超硬薄膜 , 相组成

Study on the Phase Composition of Multicomponent Superhard Coatings Prepared by PVD at Low Temperature

回顾了多组分硬质薄膜的发展,指出了多组分薄膜低温淀积时相组成研究与预测存在的问题.对多组分硬质薄膜,包括类质同晶体系与多组分共熔体,低共熔体系、转熔体系、亚稳定固熔体与非晶固熔体,化合物,梯度薄膜,多相薄膜材料,多层薄膜和超晶格薄膜等可能的相组成与相关性质进行了讨论.对淀积速率与薄膜厚度,相组成与薄膜均质性,超晶格薄膜硬度与超晶格周期等的计算模型进行了评述.

参考文献

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