为获得高质量的透明导电薄膜,采用计算机辅助,对ZAO/metal/ZAO多层膜系统进行最优化设计.应用基于薄膜特性矩阵的分析方法,计算包含吸收膜的多层膜系的光学特性,并以整个膜系在可见光区内的光透射系数作为最优化设计的准则.根据优化结果,以磁控溅射方法在玻璃基片上逐次溅射ZAO,metal,ZAO薄膜,最终获得可见光区内最高透光率为86.6%,方电阻为6.5Ω/□左右的多层膜.
参考文献
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| [2] | 许俊,姚寿山.LOW-E薄膜光学性能的计算机辅助模拟[J].材料科学与工程,2002(02):173-176. |
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| [5] | 唐晋发;郑全.应用薄膜光学[M].上海:上海科学技术出版社,1984 |
| [6] | P B Johnson;R. W. Christy .Optical Constants of the Noble Metals[J].Physical Review,1972,B6:4370-4379. |
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