LEC法GaAs单晶生长中热应力分布研究

材料科学与工程学报, 2005, 23(4): 546-549. doi: 10.3969/j.issn.1673-2812.2005.04.019

LEC法GaAs单晶生长中热应力分布研究

刘春梅 ^1, , 李明伟 ^2, , 陈怀杰 ^3,

1.重庆大学,动力工程学院,重庆,400044

2.重庆大学,动力工程学院,重庆,400044

3.重庆大学,动力工程学院,重庆,400044

基金项目: 国家自然科学基金(50376078) 教育部优秀青年教师资助计划(40)

关键词： LEG法 , 热应力 , GaAs单晶

Thermal Stress Calculation of GaAs Crystal in LEC Growth Configuration

采用有限元法对LEC法生长的3英寸GaAs单晶中的热应力进行求解.假设晶体为轴对称的各向同性线弹性体.主要讨论了不同液封厚度、轴向磁场强度以及晶体转速下的流动和传热所对应的晶体中的热应力分布,同时也考察了界面形状对应力的影响.

参考文献

[1]	Marc Duseaux.[J].Journal of Crystal Growth,1983:576.
[2]	Shahryar Motakef.[J].Journal of Crystal Growth,1987:37-50.
[3]	T Tsukada;M Hozawa;N Imaishi.[J].Journal of Chemical Engineering of Japan,1990:186.
[4]	T Tsukada;M Hozawa;N Imaishi.[J].Journal of Chemical Engineering of Japan,1990:286.
[5]	Shmuel Vigdergauz;Dan Givoli .Thermoelastic stresses in a crystal with weak anisotropy[J].Journal of Crystal Growth,1999(1):125-128.
[6]	Ch Frank;K Jacob;M Neubert.[J].Journal of Crystal Growth,2000:10.
[7]	O Patzold;I Grants;U Wunderwald.[J].Journal of Crystal Growth,2002:237.
[8]	Mingwei Li;Wenrui Hu;Nuohu Chen;Danling Zeng;Zemei Tang .Numerical analysis of LEC growth of GaAs with an axial magnetic field[J].International Journal of Heat and Mass Transfer,2002(13):2843-2851.

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