电磁驱动电容检测的力平衡微机械陀螺相对于压阻检测等方式的其他形式的微机械陀螺来说,具有高灵敏度及高精度的突出优点,但是其接口电路也比较复杂.这一接口电路从功能上可分为驱动电路和检测电路两个部分:驱动电路的主要功能是使微机械陀螺产生在驱动模态固有频率下的振幅稳定的正弦振动;检测电路的主要功能是拾取陀螺所产生的角速度信号.为了提高陀螺的工作带宽和线性度,检测电路采用了力平衡方式.本文从微机械陀螺接口电路的工作原理、传输函数和稳定性等方面分析了这种形式的微机械陀螺的接口电路.并介绍了接口电路中用到的几种主要器件.
参考文献
| [1] | 凌林本;李滋刚;周百令;熊正南.硅微机械陀螺传感器信号的检测方法[J].中国惯性技术学报,1999(12) |
| [2] | 李昕欣 .硅多层微机械结构的无掩模腐蚀技术和硅微机械振动式陀螺的研究[D].复旦大学,1997. |
| [3] | 熊斌 .栅结构微机械振动式陀螺[D].中国科学院上海微系统与信息技术研究所,2001. |
| [4] | 黄小振.电容式振动微机械陀螺借口电路的设计、模拟和测试[J].,2001(02) |
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