ZnO单晶的生长表面形貌及形成机制研究

人工晶体学报, 2014, 43(7): 1668-1671.

ZnO单晶的生长表面形貌及形成机制研究

王茂州 ^1, , 曾体贤 ^2, , 胡永琴 ^3, , 彭丽萍 ^4, , 王雪敏 ^5, , 吴卫东 ^6,

1.中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳621900;西华师范大学物理与电子信息学院,南充637009

2.中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳621900;西华师范大学物理与电子信息学院,南充637009

3.中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳621900;西华师范大学物理与电子信息学院,南充637009

4.中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳621900

5.中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳621900

6.中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳621900

关键词：氧化锌单晶 , 化学气相法 , 表面形貌 , 生长机制

Growth Surface Morphology and Formation Mechanism of ZnO Single Crystals

Keywords： ZnO single crystal , CVT method , surface morphology , formation mechanism

采用石墨辅助化学气相传输法生长了ZnO单晶体.利用XRD、金相显微镜和扫描电镜等对晶体结构和表面形貌进行研究,发现其表面由大量六边形台阶堆垛而成,单个晶粒呈六方伞状结构并始终显露(001)面.同一平面内台阶的大小、陡峭程度存在差异,台阶之间为平行走向.通过形成机制分析,获得生长体系的过饱和度σv约为7％,发现生长表面的腐蚀形貌为六边形平底蚀坑,确定在化学气相法中ZnO单晶呈台阶生长的主要条件是螺旋位错.

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