制备条件和退火处理对Fex/(In2O3)1-x颗粒膜结构、磁性及巨磁电阻的影响

功能材料, 2003, 34(6): 642-644.

制备条件和退火处理对Fex/(In2O3)1-x颗粒膜结构、磁性及巨磁电阻的影响

黄宝歆 ^1, , 刘宜华 ^2, , 王军华 ^3, , 张林 ^4, , 张汝贞 ^5, , 梅良模 ^6,

1.山东大学,物理与微电子学院,山东,济南,250100

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基金项目: 国家自然科学基金(59571016)

关键词：微结构 , 超顺磁性 , 巨磁电阻 , Fe-In2O3颗粒膜

The effects of preparation conditions and thermal annealing on the microstructure, magnetic properties and magnetoresistance of Fex/(In2O3)1-x granular films

用射频溅射法成功制备了金属/半导体型颗粒膜Fex(In2O3)1-x.实验结果表明样品的微结构、磁性和巨磁电阻效应受制备条件(如本底真空度、衬底温度、溅射电压等)以及热退火处理的强烈影响.较高的衬底温度有利于基体In2O3的晶化和Fe颗粒的成长.适当的热退火能促使Fe颗粒生长,使晶格畸变减小,从而改善膜的微结构.室温下,磁性测量表明样品具有超顺磁性,符合朗之万方程.高温退火后,颗粒的大小已超过单畴粒子的临界尺寸,引起矫顽力下降.

参考文献

[1]	Andrs J P;Colino J;Riveiro J M .[J].Journal of Magnetism and Magnetic Materials,1999,196:493.
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[9]	都有为 .[J].物理学进展,1997,17:180.
[10]	杨新娥,杨吉生,东剑涛,车明日.Fe-Ag金属颗粒膜的巨磁电阻[J].物理学报,1997(09):1834-1840.

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制备条件和退火处理对Fex/(In2O3)1-x颗粒膜结构、磁性及巨磁电阻的影响

The effects of preparation conditions and thermal annealing on the microstructure, magnetic properties and magnetoresistance of Fex/(In2O3)1-x granular films

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