同步辐射白光形貌术观察SiC单晶中的微小多型结构

功能材料, 2006, 37(4): 591-593.

1.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100

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10.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100

11.北京高能物理研究所同步辐射实验室,北京100039

12.北京高能物理研究所同步辐射实验室,北京100039

13.北京高能物理研究所同步辐射实验室,北京100039

基金项目: 国家科技攻关项目(2001AA311080) 中国科学院资助项目(60025409,50472068)

Observation of tiny polytypes in SiC single crystal by synchrotron radiation white beam X-ray topography

采用同步辐射白光形貌术观察了6H和4H-SiC单晶片中的微小多型结构.基于透射同步辐射形貌术的衍射几何和晶片的取向,计算了SiC晶体中3种主要多型在Lane像中对应不同反射的成像位置,并与实际结果进行了比较.鉴别出6H和4H-SiC单晶中分别存在着少量的4H-SiC和15R-SiC多型的寄生生长.

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