一种富钛NiTi薄膜的晶化动力学

功能材料, 2002, 33(4): 389-390.

一种富钛NiTi薄膜的晶化动力学

姜训勇 ^1, , 刘庆锁 ^2, , 徐惠彬 ^3, , 宋德瑛 ^4,

1.南开大学新能源材料研究所,天津,300071

2.天津理工学院材料系,天津,300191

3.北京航空航天大学材料科学与工程系,北京,100083

4.南开大学电极材料研究所,天津,300071

基金项目: 国家自然科学基金(69878011)

关键词：富Ti NiTi薄膜 , 非晶 , 晶化动力学 , 变温方法

The crystallization kinetics of amorphous Ti-rich NiTi film

本实验采用直流磁控溅射法制备了一种非晶的富TiNiTi薄膜,其成分为Ni46.34%(原子分数),Ti 53.66%(原子分数).采用变温方法研究了这种非晶薄膜的晶化动力学.测得非晶薄膜晶化的激活能为271kJ/mol,平均Avrami指数为1.17.采用以上获得的动力学参数计算了薄膜在773K的等温晶化动力学曲线.计算结果与实验结果吻合较好.在薄膜的晶化过程中伴随着Ti2Ni的析出.

参考文献

[1]	官峰飞等.[J].金属学报,1998,34(02):119.
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