采用微波等离子体化学气相沉积法在直径1～5mm硬质合金球体上沉积了5～20 μm厚的纳米金刚石膜.通过扫描电子显微镜、原子力显微镜和拉曼光谱对样品的表面形貌、膜厚均匀性和成份进行了表征.沉积膜表面呈现纳米金刚石典型“菜花”结构,晶粒度为10～20 nm,膜厚均匀,表面粗糙度随沉积膜厚度增加而增大.采用纳米压痕仪测试沉积膜硬度和弹性模量,沉积膜硬度接近40 GPa,弹性模量约为500 GPa.
参考文献
| [1] | 胡志彪,李贺军,付前刚,陈强,王兰英.低摩擦系数固体润滑涂层研究进展[J].材料工程,2006(03):60-63,68. |
| [2] | 赵洋,谭业发,周永权,蔡滨,高博,徐婷.固体润滑技术及其工程应用[J].机械工程与自动化,2011(01):207-209. |
| [3] | B. Lunn;D. A. Wright;L. Y. Zhang .Growth of diamond films on spherical surfaces by hot filament CVD[J].Diamond and Related Materials,1998(2/5):129-132. |
| [4] | 相炳坤,左敦稳,李多生,陆海泉,陈荣发.大面积球面金刚石膜的均匀沉积研究[J].人工晶体学报,2009(01):33-38. |
| [5] | 苟立,安晓明,冉均国.CVD金刚石涂层拉拔模的制备[J].工具技术,2007(06):62-64. |
| [6] | 杨莉,余志明,殷磊,李泳侠,邹丹.脱钴预处理对金刚石/硬质合金附着性能的影响[J].中国表面工程,2003(06):16-20. |
| [7] | Z.Sun;J.R.Shi .UV Raman characteristics of nanocrystalline diamond films with different grain size[J].Diamond and Related Materials,2000(12):1979-1983. |
| [8] | 卢文壮,左敦稳,任卫涛,杨春,徐锋,王珉.金刚石涂层的纳米压痕力学性能研究[J].人工晶体学报,2009(01):159-164. |
| [9] | W. Kulisch;C. Popov;S. Boycheva;L. Buforn;G. Favaro;N. Conte .Mechanical properties of nanocrystalline diamond/amorphous carbon composite films prepared by microwave plasma chemical vapour deposition[J].Diamond and Related Materials,2004(11/12):1997-2002. |
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