喷淋蚀刻模具钢的蚀刻深度研究

表面技术 , 2013, 42(4): 21-23.

1.广东工业大学机电学院,广州510006

2.广东工业大学机电学院,广州510006

3.广东工业大学机电学院,广州510006

4.广东工业大学机电学院,广州510006

基金项目: 教育部博士点基金(20114420120002) 国家自然科学基金重点资助项目(U1134003) 广东省自然科学基金资助项目(s2012010009022) 国家青年科学基金资助项目(51205066)

Study on Etching Depth of Die Steel in Spray Etching

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采用喷淋式蚀刻机,以FeCl3基蚀刻液对模具钢进行喷淋蚀刻,通过测定不同蚀刻液温度、不同喷淋压力下的蚀刻深度,考察了几个独立因素对蚀刻深度的影响,得出蚀刻深度的规律性变化:蚀刻深度增长速率随蚀刻液温度的升高而增大,随喷淋压力的增大而先增大,后逐渐减小.分析了蚀刻深度呈此种变化规律的原因.

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