高选择性的In2O3基热线型氢气传感器

稀有金属材料与工程, 2016, 45(11): 3010-3014.

高选择性的In2O3基热线型氢气传感器

郭雪原 ^1, , 詹青燃 ^2, , 金贵新 ^3, , 李亚丰 ^4, , 陈翔宇 ^5, , 詹自力 ^6,

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基金项目: 教育部留学回国人员科研启动基金资助项目(2012-940) 河南省重点科技攻关项目(0624220059,14A530001) 国家电子元器件专项(2008-1436)

关键词：氧化铟 , 热线型气体传感器 , 选择性 , 氢气

Highly Selective In2O3-based Hot-wire Hydrogen Gas Sensor

Keywords： indium oxide , hot-wire gas sensor , selectivity , hydrogen

采用反相微乳液法合成出纳米氧化铟(In2O3),利用其制备出了热线型气体传感器.利用二甲基二乙氧基硅烷(DEMS)的化学气相沉积,在敏感元件表面形成了一层致密的二氧化硅(SiO2)分子筛层,限制了除氢气(H2)以外其它分子直径较大的还原性气体向气敏材料内层的扩散,提高了该传感器对H2的选择性和响应.参考元件的补偿作用降低了环境湿度的影响,通过气敏机理模型讨论了其内在原因.该传感器具有对H2较高的选择性和响应,优良的抗环境影响能力,以及较好的稳定性和较低的功耗.

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Highly Selective In2O3-based Hot-wire Hydrogen Gas Sensor

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