磁控溅射Ni/Au/Pt多层膜红外发射率特征研究

稀有金属材料与工程, 2011, 40(3): 534-537.

磁控溅射Ni/Au/Pt多层膜红外发射率特征研究

黄智斌 ^1, , 周万城 ^2, , 唐秀凤 ^3, , 罗发 ^4, , 朱冬梅 ^5,

1.西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西,西安,710072

2.西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西,西安,710072

3.西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西,西安,710072

4.西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西,西安,710072

5.西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西,西安,710072

基金项目: 凝固技术国家重点实验室自主研究课题(KP200901)

关键词：镍基高温合金 , Ni/Au/Pt多层膜 , 红外发射率

Study on Infrared Emissivity Characteristic of Ni/Au/Pt Multilayer Films by Magnetic Sputtering

研究了表面镀Ni/Au/Pt多层膜的K424合金在热处理前后红外发射率的变化及变化机理.XRD分析结果表明,在热处理后,试样表面主要由Au0.7Cr0.3和Pt组成,说明合金基体元素在600℃下会向外扩散.SEM分析表明,粗糙表面镀金膜的试样在热处理后,表而薄膜产生了细小的裂痕,但在表面没有探测到氧化物.而抛光表面镀金膜的试样,其表面薄膜十分完整.通过SR5000光谱辐射计量仪测量合金的红外发射率,结果表明,合金的表面状态和热处理对红外发射率均有较大影响.

参考文献

[1]	Cherian J T;Fisher R M;Castner M G et al.[J].Journal of Materials Science,2001,36(01):4189.
[2]	Ane J M;Huetz-Aubert M .[J].International Journal of Theoretical Physics,1986,7(06):1191.
[3]	许昌淦;周鹿宾.合金刚与高温合金[M].北京:北京航空航天大学出版社,1993:171.
[4]	何纯孝.贵金属相图及化合物结构参数[M].北京:冶金工业出版社,2007:55.
[5]	张建奇.红外物理[M].西安:西安电子科技大学出版社,2004:7.
[6]	黄昆.同体物理学[M].北京:高等教育出版社,1988:103.
[7]	黄智斌,朱冬梅,罗发,周万城.K424合金的高温氧化行为和红外发射率研究[J].稀有金属材料与工程,2008(08):1411-1414.

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