旋转镀膜铌靶材加工工艺研究

1.宁夏东方钽业股份有限公司,宁夏石嘴山753000

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基金项目: 宁夏东方钽业股份有限公司项目(SJ04-13-1)

Processing Technology of Spin Coating Process Niobium Target

研究了靶材不同加工工艺的组织,通过多向锻造,在变形量为80％,热处理工艺为1 050℃×90 min,制得的靶材具有均匀的等轴晶组织,晶粒尺寸40-100 μm.

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